| Kod |
Ders Adı |
Dili |
Türü |
| MAK 4007E |
Mikrosistem - MEMS Tasarımı |
İngilizce |
Seçmeli |
| Kredi |
AKTS |
Ders |
Uygulama |
Laboratuvar |
| 2.5 |
5.5 |
2 |
1 |
0 |
| Dersin Önşartı ve Sınıf Kısıtı |
| Ders Önşartı |
(MUK 210 MIN DD
veya MUK 210E MIN DD
veya MAK 220 MIN DD
veya MAK 220E MIN DD)
ve (AKM 209 MIN DD
veya AKM 209E MIN DD
veya MAK 229 MIN DD
veya MAK 229E MIN DD)
ve (MAK 214E MIN DD
veya MAK 214 MIN DD
veya MAK 224 MIN DD
veya MAK 224E MIN DD)
|
| Sınıf Kısıtı |
4.Sınıf |
| Ders Tanımı |
MEMS (Mikrosistem) tasarımın ilkeleri. Mikroüretim tekniklerinden yüzey mikroişleme ve gövde mikroişleme yöntemleri. Elektristatik
MEMS tasarım esasları. Isıl algılama ve prensipleri. Piezoresistif algılama ve mikro ölçekte tasarım esasları. Manyetik mikro algılama
yöntemleri. Toplu ve enerji korunumu tasarım yaklaşımları. Örnek tasarım çalışmaları: Piezorezistif basınç sensörü mikroakışkan sistem
ve biyolojik uygulamalara yönelik mekanik sistem.
|
|
